主题：【讨论】【解读材料表征仪器参数之显微镜篇】第一期：扫描电镜（参与有重奖！）

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:

原文由 iangie(iangie) 发表:

原文由 无机麦地(shuiyang88) 发表:
5、电子束流是大好还是小好？    电子束流            最高可达 100nA
6、光阑的作用是什么？      光栏选择            6 孔光栏，高精度点击选择
电子束流根据参数来说是越大比较好，但是电子束流是轰击物质表面的，只要能量合适，能把样品表面的原子轰击出来就行，所以电子束流大小的选择还是与大部分样品有关，并不是越大或者越小好。

这个有推荐电子束流值的推荐值吗。

原文由 iangie(iangie) 发表:

那光栅是什么?

原文由 金水楼台先得月(albert800922) 发表:

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:

原文由 iangie(iangie) 发表:

原文由 无机麦地(shuiyang88) 发表:
5、电子束流是大好还是小好？    电子束流            最高可达 100nA
6、光阑的作用是什么？      光栏选择            6 孔光栏，高精度点击选择
电子束流根据参数来说是越大比较好，但是电子束流是轰击物质表面的，只要能量合适，能把样品表面的原子轰击出来就行，所以电子束流大小的选择还是与大部分样品有关，并不是越大或者越小好。

这个有推荐电子束流值的推荐值吗。

貌似没有

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
在材料表征仪器采购中，采购人员经常会面对大量的仪器参数。如果采购人员不是技术员，也就是根本不懂要采购的仪器，那么这些参数对采购人员来说也算是个难题。本系列活动旨在通过解读各种材料表征仪器的一些重要的参数，为采购人员的采购做个参考。按照材料表征仪器的分类，第一期首先从显微镜中的扫描电镜开始。

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各位版友、专家可以分条解答，每条尽量解释透彻。参与即有积分和经验奖励，根据详细程度单条可获最高10积分2经验的奖励（版主加分上限），累积加分不设上限，贡献巨大的版友可加精华！已经有版友回答的问题，后面的版友可以继续补充。鼓励版友积极思考，提出问题同样可以获得奖励，奖励办法同上。

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以下是某型号扫描电镜的主要技术参数

电子光源            高亮度肖特基源的热场发射电子枪
这个比较重要。亮度值说明了电子光源的性能，亮度越大电子枪性能越好，束流密度也越大，也就越能保证电子束在小光斑时的信号量量。保证仪器优越高的分辨能力。亮度值是电子枪的固有值，在仪器工作过程中是恒定不变的。一个电子枪都有它的亮度值。目前来说冷场枪的亮度最大以后热场（有的热场亮度和冷场相当）以后六硼化阑在后钨灯丝。
因此场发射电子枪可以保证仪器获得更高的分辨能力

分辨率                <A href="mailto:1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens">1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector)
这个由于标样问题，所以是个说不清楚的，无法验证的指标。因此只要在0.4NM以上的分辨率就随便厂家编吧。反正不管是什么电镜国产的、国外的、场发射、还是钨灯丝都可以达到（按照目前流行的指标验收方法）

压            0.1kV – 30kV 连续调节,步长 100V

放大倍数      <10 倍 至 >900,000 倍，工作距离和高压变化时进行完全地补偿

这是个可验收指标，不过也是微米级别。用这个可以看看标尺是否正确，不过也就是微米级别。纳米级别是微米级别衍生出来，也是由于无标准样而无法验证。目前最多只能验证到50NM左右（不过一般都不会做，标样不好搞）。这个指标大家都能达到，还有这个指标还可以校正图形畸变，不过国外的仪器基本没有多少畸变

            最高可达 100nA

光阑选择            6 孔光栏，高精度点击选择

多点光阑孔，多点选择。不过实际用起来也就一、两个所以太多的光阑孔也就是噱头

探测器

样品室内二次电子探头  E-T 探头仅用于样品室高真空操作,几何位置可调整

Through -Lens 探头      DELPHI Through –Lens 上位 SE/BSE 探头

样品室内 BSE 探头    罗宾逊/4 分割固体背散射电子探头
探测器多一点还是有用的。高性能背散射探头最好选择一下。我现在越来越觉得没有YAG带来的不能酣畅发挥我的能力的痛苦了


真空系统      TMP(涡轮分子泵)+2 个离子泵，高压和所有电子枪供给全部与真空互锁
这个最好还是看能保证仪器真空度，且时间越短越好来做评判。能保证仪器真空度泵越少越好，所以泵的多少这个指标我也不是太过看重。

样品室尺寸        413mm 宽 x313mm 深 x313mm 高.


样品台移动

优中心 6 轴样品台.

X=100mm，Y=100mm，（Y=150mm，选配），Z=50mm， Z’=10mm

Tilt=-5～+90°， Rot=360°
Z’是什么意思？我不懂？不过五轴马达台最好还是选用。至于移动距离，从我工作来说太大未必有太多的用处。对于场发射不要过于考虑这个，因为基本移动不了多少距离。
样品台载重      承载样品的重量超过 5 公斤
对于场发射电镜由于真空的关系我不赞成选用太大的样品仓，和放置太大的样品。大样品还是让钨灯丝来解决。如要做许多的分析（比如能谱、波谱、EBSD等等）还是选择大点的，至于样品我还是不赞成在场发射里面用大样品。


样品室接口      14 个

必要的一些简单分析可以考虑选用，其他的只要不是专用的最好不要放在一个仪器上。所以5、6个接口应该够用了。14个太多了，全用上仪器用起来肯定不方便，所以大部分没用。
          自动水平传感器的气垫装置

下面对于电镜来说都是锦上添花的东西就各取所需吧
自动特性    自动聚焦,消像散,亮度和对比度调整. 自动电子束对中.自动电子束流检测.真空检测与调整

显示器              双显示器，能形成双幅横向工作区

视频获取图像处理

6 路优化像素噪音功能实现双路获取

样品检查模式带有转换/扫描图像定位中心特性

全屏注释和图像测量功能

触停报警装置 标配

可配附件

EDS, WDS, EBSD, CL， STEM，电子束消隐装置，激光定位仪，电子枪隔离阀， Fastrac，光学显微镜，冷台，热台，拉伸台

另外在场发射电镜最好选用预抽仓

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1、电子光源有哪几种，分别有什么优缺点？热场和冷场有什么区别？

2、分辨率的定义是什么？与哪些因素有关？

3、加速电压连续可调有什么优势？

4、放大倍数中的“工作距离和高压变化时进行完全地补偿”如何理解？

5、电子束流是大好还是小好？

6、光阑的作用是什么？

7、扫描电镜常用的探测器有哪些？不常用的有哪些？分别的作用和特点是什么？

8、真空系统中涡轮分子泵和离子泵的作用分别是什么？

9、样品台的6轴是哪些，分别有什么作用？

10、什么样的防震系统性能更好？

11、自动特性是否好用？

12、所列出来的附件分别是什么？有什么作用？哪些是常用的？

13、其它，各位版友可以提出自己的问题和看法。

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
林老师终于来啦！您的答复可以继续加分~

原文由 linzq(linzq) 发表:
谢谢小M对我的关爱。目前正是我们学校的非常时期（学生毕业），工作量太大，加上我们的群（日立电镜技术交流群）我还要去照顾所以这里来的比较少了。就是来也是匆匆一过。今天看到您给我的信件，觉得应该给您（我们热心的网友）捧个场，所以也就多说了一些。不管正确与否望您多多海量。谢谢