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主题：【求助】样品漂洗问题

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skylack
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发表于：2011/05/13 16:19:44 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天遇到一个样品漂洗问题，基底为石英，膜为掺锗的SIO2，owner要求测量膜的厚度，但是片子已退过火，采用常规HF漂洗无法看到分层，后来用染结液效果也不明显，特向前辈们求助，采用何种方法做样品处理能看出明显分层？
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2011/5/15 9:02:52 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在扫描电镜下，看片子的截面（侧面），用背散射电子探测器。基体石英不导电，可能要镀金。
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skylack
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2011/5/17 11:11:18 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
漂洗要做什么特殊处理不？现在比较关心的是在上电镜前是否能看出分层，还望有石英样品处理经验的前辈不吝赐教。
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unht
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2011/5/17 17:11:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看不出也可能是分层不明显，用AFM试一下
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手机版： 【求助】样品漂洗问题
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