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主题：【讨论】探讨一下扫描 电镜样品表面存在的状态

浏览0 回复3 电梯直达
shamoxiongshi
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发表于：2011/09/05 16:14:44 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
    我曾质疑过别人所说的样品表面温度很高的说法，而 冷热场仅仅是针对电子枪而言，目前又同时遇到问题，验收 时遇到的标样锡球在长时间扫描后轮廓变成环形，工程师说给烧化了，表面有上千度……
    据本人常识普通锡熔点也就三百度以内，依照掺杂的金属熔点在150到28-0左右不等
    因此温度不会很高，大家意见如何？？、
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icewine2000
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2011/9/5 22:41:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
聚焦后的局部温度是可能超过300度的，你可以降低电流来减小损伤。另外，长时间照射还有碳吸附变黑的问题。
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小M
mitchell_dyzy
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2011/9/6 13:40:17 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 icewine2000(icewine2000) 发表:
聚焦后的局部温度是可能超过300度的，你可以降低电流来减小损伤。另外，长时间照射还有碳吸附变黑的问题。


同意，这种局部变黑的现象可能的原因是样品受热和碳吸附。表面温度上千度应该不至于吧，太夸张了。两三百度倒是有可能。原来我也有过这样的疑问，电子束照射样品表面时，能有多高的温度，但是没有得到确切的答案。有人测试过这个数据吗？
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asahi42
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2011/9/6 20:17:36 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个倒真没有，因为聚焦点（也就是局部温度升高点）太小，没法用热电偶来测，而且温度又不足以产生能够被观察到得红外热辐射。。。。如果可以的话，是不是能够做一批固定熔点标样，一个个扫过来，哪个刚好化掉，就是这个温度了~
另外，温度的升高和样品的导热性还有束流大小都有关系，真要做一个全套的这样的表格，难度太大。。。
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