原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:原文由 asahi42(asahi42) 发表:日立的减速和FEI的积分的区别,明白了。FEI的BD又是什么?见笑啊
这个~其实是这样的,日立的减速模式和FEI的BD差不多,日立在Fast扫描模式下拍照和FEI的Intergrate差不多。
减速是让着陆电压小于加速电压,是在不损失分辨率的前提下减小对样品损伤的一种方法;积分模式改变的是扫描线圈的动作频率,让电子束以最快的速度通过样品表面的每一个点,并将得到图片叠加成像,目的是减小荷电,并减小样品损伤。