主题：【求助】日立的减速模式怎么操作？

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
然后日立S-4800的减速在这里

抱歉昨天回家太晚了~

我没用过减速模式，想问下，减速模式与低压操作差别在哪，比如发射电压2KV和发射电压为10KV经减速模式后到能量为2KV（假设能定量实现）的区别在哪？是电子枪亮度还是能量分散变小，还是电流密度不同？有点拿不准，个人比较纠结

原文由 asahi42(asahi42) 发表:

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
然后日立S-4800的减速在这里

抱歉昨天回家太晚了~

我没用过减速模式，想问下，减速模式与低压操作差别在哪，比如发射电压2KV和发射电压为10KV经减速模式后到能量为2KV（假设能定量实现）的区别在哪？是电子枪亮度还是能量分散变小，还是电流密度不同？有点拿不准，个人比较纠结

区别啊？就拿您的例子来讲，不用减速的时候，电子发射是2kV时候的能量分散量；用了减速，电子发射是10kV的能量分散量，着陆到样品上还是2kV的电子能量，但是束斑会明显变小。（当然不会减8kV，Hitachi最大2.5kV，FEI最大4kV，Zeiss的是伪减速）电子枪亮度和电流密度由枪系统本身和加速电压决定，不会随着减速场的开启与否而变化。

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
然后日立S-4800的减速在这里

抱歉昨天回家太晚了~

我没用过减速模式，想问下，减速模式与低压操作差别在哪，比如发射电压2KV和发射电压为10KV经减速模式后到能量为2KV（假设能定量实现）的区别在哪？是电子枪亮度还是能量分散变小，还是电流密度不同？有点拿不准，个人比较纠结

区别啊？就拿您的例子来讲，不用减速的时候，电子发射是2kV时候的能量分散量；用了减速，电子发射是10kV的能量分散量，着陆到样品上还是2kV的电子能量，但是束斑会明显变小。（当然不会减8kV，Hitachi最大2.5kV，FEI最大4kV，Zeiss的是伪减速）电子枪亮度和电流密度由枪系统本身和加速电压决定，不会随着减速场的开启与否而变化。

看着您的解说，还有随着最近的学习，我明白了，高压发射然后减速到低压时与低压发射两种最终probe current相差无几，但高压发射时能量分散带来像差（准确的说是色差）很小几乎可以不考虑，故而进一步缩小了束斑，实现束流不变的情况下缩小束斑，提高分辨率，有种顿悟的感觉

呵呵，谢谢前辈了，最近好多问题都问的您，谢谢您的无私分享，呵呵

原文由 asahi42(asahi42) 发表:

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:

原文由 zhadaoan(zhadaoan) 发表:

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
然后日立S-4800的减速在这里

抱歉昨天回家太晚了~

我没用过减速模式，想问下，减速模式与低压操作差别在哪，比如发射电压2KV和发射电压为10KV经减速模式后到能量为2KV（假设能定量实现）的区别在哪？是电子枪亮度还是能量分散变小，还是电流密度不同？有点拿不准，个人比较纠结

区别啊？就拿您的例子来讲，不用减速的时候，电子发射是2kV时候的能量分散量；用了减速，电子发射是10kV的能量分散量，着陆到样品上还是2kV的电子能量，但是束斑会明显变小。（当然不会减8kV，Hitachi最大2.5kV，FEI最大4kV，Zeiss的是伪减速）电子枪亮度和电流密度由枪系统本身和加速电压决定，不会随着减速场的开启与否而变化。

看着您的解说，还有随着最近的学习，我明白了，高压发射然后减速到低压时与低压发射两种最终probe current相差无几，但高压发射时能量分散带来像差（准确的说是色差）很小几乎可以不考虑，故而进一步缩小了束斑，实现束流不变的情况下缩小束斑，提高分辨率，有种顿悟的感觉

呵呵，谢谢前辈了，最近好多问题都问的您，谢谢您的无私分享，呵呵

没有啦，刚硕士毕业一年哈，就是对这个很感兴趣，所以就想深入了解，您从事时间比我长，当然是前辈了啊，哈哈

不谢不谢~但是我觉得您SEM理论水平和思考方向已经非常到位了~
顺便，万不可叫前辈，我和您肯定是一辈里的

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
然后日立S-4800的减速在这里

抱歉昨天回家太晚了~

原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
抱歉昨天回家太晚了~

叛徒。
呵呵，

原文由 linzq(linzq) 发表:

他是日立的叛徒。
呵呵，开个玩笑，人才是要给挖走的如果在原来的地方收入上不去的话。
天美的手比较紧，走了好几个，其中有几个能力很强的,他是其中之一。

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
FEI的在这里~

Hitachi的要晚上才能找给你~

原文由 Frinight(hui7808) 发表:
在这里澄清以下，不是说减速场电压越高越NB。减速场电压过高，一是不好控制样品上层的减速场的均匀，二是样品台可能会打火。