实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8041564今日发帖：259 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【原创】扫描电镜束斑大小与图像分辨率

浏览0 回复2 电梯直达
fengyonghe
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2011/11/04 18:00:28 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
束斑大小和分辨率之间有直接的因果关系。诸如冷场或热场发射、提高电子枪的亮度、降低电子枪的能量发散度、大幅提高电子枪的真空度等等都是为减小束斑服务的。钨灯丝由于其曲率半径太大、发射电流又小，可以说电镜研发单位无法使它得到有用的足够小的束斑。



冷场电镜比热场电镜的束斑小，更比钨灯丝的小，所以在观察图像时钨灯丝电镜更需要注意spot size的调整。我们用人眼的分辨率0.3mm计算一下SS的调整。1000倍下SS要小于0.3mm÷1000=300nm ，同理10000倍下要小于30nm ，100000倍下要小于3nm 。

显示器的分辨率也会影响图像清晰度，有资料表明当有两个以上像素重叠时图像会显得模糊。我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率，该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 扫描电镜（SEM） 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
相关阅读
小M
mitchell_dyzy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/11/5 11:10:35 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率，该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。
这样做是为了让人眼觉得不模糊吗？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2011/11/5 17:55:47 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率，该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。
这样做是为了让人眼觉得不模糊吗？

有这个效果。如屏幕分辨率小于二次电子图像分辨率，最终图像分辨率等于屏幕分辨率。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2011/11/10 22:20:59 Last edit by fengyonghe
手机版： 扫描电镜束斑大小与图像分辨率
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁