实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8091887今日发帖：229 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】ZEISS 电镜低电压下有暗影的问题

浏览0 回复26 电梯直达
可能感兴趣
小M
mitchell_dyzy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/30 6:51:36 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
没有下文是对大家的不够尊重，久而久之别人会对你提的问题不予理睬。
当然，这种提问基本无效，因为没有反馈
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
testing_service
testing_service
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/30 22:32:19 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其他电镜貌似也有这种现象。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2012/3/30 22:33:37 Last edit by testing_service
wbslandy
wbslandy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/30 22:43:31 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
图片怎么不显示了

我觉得可能还是工作距离太小了，没有下文了？


===========不好意思，发表此求助帖后，连续几天看没什么反应，加上近期有点忙，就没上来了，所以没及时回复你， 感到非常抱歉。
            工作距离稍大点也有此黑斑现象， 您知道的，像蔡司这种sem， 工作距离大了的话，它的inlens探头的二次电子信号很弱的。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
wbslandy
wbslandy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/30 23:07:22 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
图片怎么不显示了

我觉得可能还是工作距离太小了，没有下文了？

没有下文是对大家的不够尊重，久而久之别人会对你提的问题不予理睬。


            ============不好意思，此求助帖刚发出来的那几天，因回复的帖我感觉好像不太对，就没回复了，后一忙就没及时再上网了。非常抱歉啊！
          您提到的合轴问题，我已经让供应商仔细地进行了机械合轴和电子合轴，但仍然有黑斑现象。 我们的日本电子的JSM6700 和FEI的450S Dual-Beam FIB/SEM上的低电压情况下在3万至5万倍下也有此黑斑现象。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
wbslandy
wbslandy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/30 23:15:22 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jmijmlgddh(jmijmlgddh) 发表:
请问楼主的样品室镶样的吗？


          =========不是灌胶镶嵌的样品。 不过因是半导体样品，导电性并不是纯金属那样好，但我们用2KV或5KV下拍照都不会charging放电。 仅仅0.5kv下几万倍的时候有此现象。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2012/3/30 23:17:28 Last edit by wbslandy
wbslandy
wbslandy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/30 23:26:22 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
图片怎么不显示了

我觉得可能还是工作距离太小了，没有下文了？

没有下文是对大家的不够尊重，久而久之别人会对你提的问题不予理睬。


                ===========>>>>前几天我们尝试着改变一些条件，目前有所改善。
                      我们在日立的S-5200 Super-SEM 上样品台带冷阱的情况下用0.5KV测试，黑斑明显弱化；用另外一台也是带冷阱的日本电子的JSM7500 SEM确认液氮冷阱的效果,黑斑也不明显了。
                      另外我们动用FEI公司的450S Dual-Beam FIB-SEM,尝试改变束流由50pA---25pA---13pA---8pA逐渐减小， 发现黑斑也逐渐减弱， 到8pA时基本看不到黑斑了。

                      在解决此问题的时候，我听一位香港的做SEM资深人士说，SEM腔体内的有机污染物最好用等离子清洗机进行清理， 各位，有人听说过等离子Plasma清洗腔体的吗？ 目前我还没见过哪个供应商用此手段，只看到他们用吸尘器清理chamber内的污染物。
                      感谢大家的热情参与。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2012/3/30 23:51:32 Last edit by wbslandy
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/31 22:43:25 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
小M
mitchell_dyzy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/3/31 22:47:45 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
终于有进展了。那看来就是碳沉积的问题。用等离子清洗器可以一定程度缓解，在上海FEI纳米港见过，两台，都已经装在电镜上。本版有个帖子专门介绍的，以前还是置顶的，可以站内搜索一下，好像是杭州一家公司代理的。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
wbslandy
wbslandy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/4/1 8:28:28 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:


回复Fengyonghe老师：
这是一个巨磁阻产品，
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2012/4/1 8:31:15 Last edit by wbslandy
lich_dc
lich_dc
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/5/20 21:30:51 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wbslandy(wbslandy) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
图片怎么不显示了

我觉得可能还是工作距离太小了，没有下文了？

没有下文是对大家的不够尊重，久而久之别人会对你提的问题不予理睬。


            ============不好意思，此求助帖刚发出来的那几天，因回复的帖我感觉好像不太对，就没回复了，后一忙就没及时再上网了。非常抱歉啊！
          您提到的合轴问题，我已经让供应商仔细地进行了机械合轴和电子合轴，但仍然有黑斑现象。 我们的日本电子的JSM6700 和FEI的450S Dual-Beam FIB/SEM上的低电压情况下在3万至5万倍下也有此黑斑现象。


很大可能性的积碳问题，而你的关于日本电子和蔡司都有这个现象，解释是只要是高真空积碳问题都会存在

而你的关于为什么0.5kV明显，高压下不明显的解释是： 这种积碳现象多数在表面， 而电压越低表面信息越明显也就越容易看到这种黑方现象。电压越高表面信息“损失”掉所以不明显

而这种积碳现象一部分来源于样品本身以及样品与电子束作用，另一部分来源于样品室内部本身的碳积累，当电子束扫描时会诱导再沉积。 所以保持电镜长期干净度很重要，特别现在电镜分辨率越来越高，而大家很多样品都是往低压去走，配置一台高真空防污染装置的Plasma Cleaner是很有必要的啊
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 【求助】ZEISS 电镜低电压下有暗影的问题
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁