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主题：【求助】离子减薄 详细原理

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malz
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发表于：2012/03/20 12:53:05 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近做离子减薄，想知道其详细的原理，哪位大虾有相关方面的书籍推荐啊？
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2012/3/20 20:29:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子减薄原理很简单，首先要知道减薄要有个高压电子枪，它的作用就是要发射高能电子束，高能电子束轰击到待减薄区域时会将表层的物质打散成细小的颗粒。其次减薄时要通有Ar气，Ar气的化学性质稳定，一般不会与减薄样品发生反应，给减薄腔内接一个离子泵（总之是可以抽气的东西吧）把减薄出来的粒子与Ar气再抽出来。
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malz
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2012/3/21 12:32:06 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
嗯，谢谢了~我也知道这个，但是比如说加速电压对减薄的影响（太低、太高等），进一步怎样来确定加速电压等更为详尽的原理，我想彻底地了解一番，就是找不到这方面的书籍，但是我相信有~
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