你对XPS知道太少了!As和Ga没必要都是3d。Ga本身有1s,2s,2p,3s,3p,3d,4s,4p等电子层,除s层外,每个层又会分两个亚层(例如p分为p1/2,p3/2,d分为d3/2,d5/2),Ga无论形成什么化合物都有这些电子层,当然2p和3d都可以扫出信号峰。对GaAs来说,其Ga2p3/2的结合能应该在1117ev,而其Ga3d对应该在19ev左右。我们通过与标准结合能对照,通过Ga2p3/2或者Ga3d都可以确定其是否是GaAs,而不是说非得通过扫Ga3d才行。
决定其价态的是结合能,而不是看扫描的是2p还是3d。至于要扫哪个,是有一些规律的,如楼上所说的信号灵敏度,还有有的信号峰可能与别的元素交叠,那么就要扫其他电子层等等。