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主题：【讨论】大家对FIB analysis的看法如何？

浏览0 回复9 电梯直达
gohope
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发表于：2012/05/17 21:22:24 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB analysis就是以FIB+SEM为核心，同时联合SPM为一体机。连接EDX, EBSD, TOFSIMS, EBIC,CL等分析工具。不知道大家对这样一个工具有什么看法？
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2012/5/17 22:11:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我对这个很陌生，楼主能给我说说不？
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liuyy1976
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2012/5/18 5:55:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们买了一个二手的FIB，刚调试好，能刻蚀出纳米图形，还能长钨，但是图形生成很单一，只有四方形，不知有没有好办法？
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gohope
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2012/5/18 9:17:57 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 冬季(lylsg555) 发表:
我对这个很陌生，楼主能给我说说不？


就是FIB ANALYSIS=FIB+SEM+SPM+EDX+EBSD+TOF-SIMS+EBIC/CL。样品在一台机器上完成以上的检测分析。
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毒菇九剑
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2012/5/18 13:56:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 liuyy1976(liuyy1976) 发表:
我们买了一个二手的FIB，刚调试好，能刻蚀出纳米图形，还能长钨，但是图形生成很单一，只有四方形，不知有没有好办法？


可以考虑一下OmniProbe的GIS系统，它在一个GIS上即可注入最多5种气体，可以配合FIB生长出纳米图形及较复杂的图形。
下图的例子是在硅基底上由一个GIS系统沉积的，含Pt、SiO2、W不同成分组成的图形。
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cch_cai
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2012/5/22 9:00:13 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gohope(gohope) 发表:
FIB analysis就是以FIB+SEM为核心，同时联合SPM为一体机。连接EDX, EBSD, TOFSIMS, EBIC,CL等分析工具。不知道大家对这样一个工具有什么看法？


不知道您说的看法指哪方面？
FIB+SEM的比较多，一般用在纵向解剖，边切边看。其余的用的不多啊。
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gohope
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2012/5/28 21:45:05 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cch_cai(cch_cai) 发表:
原文由 gohope(gohope) 发表:
FIB analysis就是以FIB+SEM为核心，同时联合SPM为一体机。连接EDX, EBSD, TOFSIMS, EBIC,CL等分析工具。不知道大家对这样一个工具有什么看法？


不知道您说的看法指哪方面？
FIB+SEM的比较多，一般用在纵向解剖，边切边看。其余的用的不多啊。


谢谢您分享您的看法。我想进一步想请教您一下，是不是用FIB+SEM的，一般都很少需要与分析设备联用？
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reinash
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2015/1/5 13:15:13 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
盛美半导体设备（上海）有限公司
新进一台FEI Helios 660 Nanolab
可以承接各类FIB，微结构加工，TEM制样，电路修补，EDX，EBSD，STEM与SEM服务。
联系人，贾兆伟，
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2015/3/31 11:17:07 Last edit by mitchell_dyzy
albriug
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2015/3/28 20:31:16 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
reinash:你们的FEI Helios 660 Nanolab大约在什么价格方便透露吗？
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2015/3/31 11:18:20 Last edit by mitchell_dyzy
小M
mitchell_dyzy
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2015/3/31 11:20:12 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这么多的分析方法集成在一台仪器上面？想法很好，能实用就行
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