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主题：【求助】急：有接触过FEI的Quanta 3D FEG的同仁进来指点一下啊！

浏览0 回复14 电梯直达
wyy23477
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发表于：2012/08/20 14:29:24 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
      我们单位有一台Quanta 3D FEG的扫描电镜，一个月前出现一个故障，具体描述如下：因为是场发射的，所以一般周末时灯丝也是点着的，一个月前的一个周一，打开显示器一看，右下角显示真空状态的图标，电子枪部分显示为灰色，见附图，当然电子枪真空出问题了，灯丝也就自然降为零了，观察日志显示时FGSU通讯故障。然后把电子枪真空抽上，也就2分钟就抽好了。前几周一般都是每个周末出现一次，偶尔工作日会出现一次，总之这一个月出现了6-7次了。打电话问工程师，工程师让我注意后面电源柜的通风散热，我把电源柜的后盖也打开了，屋内空调一直在22度左右，也感觉不到散热不好，现在就是不知道原因。后来又打电话问了另一个工程师，说怀疑时离子泵的电源有问题。
      哪位高手有遇到过这种类似的问题啊，帮忙指教一下啊，急啊。心里纠结。
      middle
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2012/8/20 18:10:44 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FGSU通讯故障，没有遇到过

是不是真空的问题，可以在无人的时候，打开监测真空的软件，记录下log，上班时查看，再看真空和关灯丝之间是否有联系

参考一下这个帖子，忽略蟑螂。http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111209/3701360/
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2012/8/20 18:13:48 Last edit by mitchell_dyzy
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2012/8/20 18:15:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以把Status那里单独一张图贴出来吗，LOGO把内容挡住了，看不清
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2012/8/20 18:15:44 Last edit by mitchell_dyzy
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2012/8/21 20:39:53 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请楼主 把IGP1 ,IGP2 的真空度 提供一下， 还有 ，周末时样品室 抽真空了吗？
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2012/8/22 8:50:03 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上说的IGP1 ,IGP2 的真空度，是电子枪真空掉了之后的真空度吗？还是仪器真空正常时的真空度啊？另外，我们实验结束时样品室是真空状态的。
Status图：
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2012/8/22 9:03:16 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们正常工作时：上离子泵是：1.9*10-7Pa左右，下离子泵是3.0*10-5Pa左右，样品室是10-4Pa左右，有时真空掉了之后显示是0，有时由于通讯问题真空还是保持，但是此时Beam ON也是开不了，再重新启动一下之后，真空显示就是灰色了，没有真空值了。
右下角Status：
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2012/8/22 9:06:41 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问一下二楼，真空监控的软件是工程师界面的吗？工程师都不给我们密码啊？你们怎么得到的啊？传授一二
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2012/8/22 22:12:23 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
把鼠标 放到 变灰的镜筒位置 就可以看到 IGP值， 真空应该 还好 ， APP STATUS 里有 FGSU 和 LENS 的 INTERLOCK 问题， 可能会有两个原因造成：
1.枪真空，虽然IGP 数值还好，但如果 IGPD(IGP 的 的电源）输出不稳定的话 ， 枪真空也会突然异常。
2.在高压帽（HT CAP) 和FGSU 上各有一个压片感应SENSER ，检查一下是否压到位
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2012/8/22 22:16:24 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
下次再有真空没问题， 而灯丝掉了时， 进 TSTMD FEG GUN 离看一下左上角FGSU PUC 的状态是OFF 还是LOST , 如果不知道工程师密码请问你的所属工程师
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wyy23477
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2012/8/24 10:44:49 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问七楼，
[把鼠标 放到 变灰的镜筒位置 就可以看到 IGP值， 真空应该 还好 ， APP STATUS 里有 FGSU 和 LENS 的 INTERLOCK 问题， 可能会有两个原因造成：
1.枪真空，虽然IGP 数值还好，但如果 IGPD(IGP 的 的电源）输出不稳定的话 ， 枪真空也会突然异常。
2.在，检查一下是否压到位]
如果是第一个问题，离子泵电源输出不稳定，我们应该怎么检查呢？确定它的稳定性；
第二个问题，高压帽（HT CAP) 和FGSU 上压片感应SENSER 的位置能不能帮忙给附张图啊，刚接触这台电镜不是很久，不知道位置在哪？先谢谢了，帮帮忙啊！
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schokolade38
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2012/8/25 22:25:44 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.在室温稳定情况下，长时间观察真空读数，看其是否是在线性，有规律的变好或变差，包括关掉HV 和 打开 HV 两种状态，在TST MD VACUUM 里有一项叫GAUGE LOG ，可以定时自动记录真空数，对你很有用。
2.好的，我拍个图片给你~
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