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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：请教：做SEM时，样品老被打黑怎么回事？

浏览0 回复37 电梯直达
cxlruzhou
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发表于：2006/04/15 20:37:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被RENXIN设置为精华；
电子束选定区域（sem照片上）出现浅黑色图像，请大虾指点！
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2006/4/15 20:52:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是由于样品不干净、或导电不好，C污染所致，当高倍率调整后，回到低倍率时，看到的现象
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diamond2006
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2006/4/17 12:45:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要是导电不好，如果可以的话，可先将试样镀覆一层碳后在观察
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cxlruzhou
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2006/4/17 19:14:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的是半导体材料，电阻率在10（-2）欧姆厘米，是不是做电镜时常用的导电胶没贴好，用导电Ag浆会好点吧。

Ag浆和常规的黑色导电胶差别（导电性方面）有多大？

请大虾指点，谢！


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jbli
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2006/4/17 21:41:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
银导电胶和黑胶（炭胶）不是一个档次，导电率至少差着几百倍，价钱也差十几倍。你可以作一个实验，用银胶和黑胶引一根一毫米宽5厘米长的线，看看电阻大小，这个实验我作过，一试便知。
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braveyong
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2006/4/18 14:44:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要是由于C脏污引起的, 来源于扩散泵油
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mingbright
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2006/4/18 14:52:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用导电Ag浆会好。另外可以在一个区域聚焦，清楚后马上到另外一个地方拍照。
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cxlruzhou
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2006/4/18 21:50:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢各位大虾指教！

我这两天正联系买点银导电胶尝试下，主要是想看清楚薄膜样品的断面。

普通的碳导电胶sem照片老做不好，喷金却又部分掩盖了样品断面的信息，效果

也不好。
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junhe
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2006/4/19 3:20:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般 在导电不好的情况下，电压高，电流大，在高倍下时间太长，回到低倍就看见一个暗斑。
你用低一点电压可以吗？
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cxlruzhou
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2006/4/22 19:25:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢。。

低电压效果好了点，上次用的10kv,这次用5kv.

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renxin
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2006/4/24 20:51:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
和用放大器在阳光底下看书是一个道理。
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