主题:【已应助】求文獻3篇

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【序号】:1
【作者】:刘二强
【题名】:基于等离子体光发射谱的磁控溅射薄膜成分控制及性能研究
【期刊】:太原理工大学
【年、卷、期、起止页码】:2009
【全文链接】:http://www.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=20&CurRec=1&recid=&filename=2010074014.nh&dbname=CMFD2011&dbcode=CMFD&pr=&urlid=&yx=

【序号】:2
【作者】:朱岩
【题名】:基于PEM反应磁控溅射制备Ti、Cr氮化物薄膜的研究
【期刊】:西安理工大学
【年、卷、期、起止页码】:2010
【全文链接】:http://www.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=16&CurRec=1&recid=&filename=2010141288.nh&dbname=CMFD2010&dbcode=CMFD&pr=&urlid=&yx=

【序号】:3
【作者】:王治安; 王军生; 童洪辉;
【题名】:PEM控制中频反应磁控溅射制备TiO2薄膜的研究
【期刊】:真空
【年、卷、期、起止页码】:2011年第48卷第4期 76-79页
【全文链接】:http://www.cnki.net/KCMS/detail/detail.aspx?QueryID=16&CurRec=24&recid=&filename=ZKZK201104022&dbname=CJFD2011&dbcode=CJFQ&pr=&urlid=&yx=
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2013/3/18 12:30:50 Last edit by qq250083771
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