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主题：【求助】哪家SEM能测镀层厚度？

浏览0 回复16 电梯直达
晕呼呼
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发表于：2013/05/20 13:37:40 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
想找家能提供SEM测试镀层厚度的单位合作，镀金，厚度大约0.1微米左右，大家知道上海有哪家能提供吗？谢谢啦
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yangyouran
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2013/5/21 11:03:07 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
原文由 晕呼呼(yuxinbugan) 发表:
想找家能提供SEM测试镀层厚度的单位合作，镀金，厚度大约0.1微米左右，大家知道上海有哪家能提供吗？谢谢啦


100nm的镀层用台阶仪测试应该还是很准的；我们平时做的膜，用台阶仪测试30nm，电镜下观察28-29nm。
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