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主题：【求助】FEI扫描电镜的HR聚焦问题

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liuyy1976
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发表于：2013/06/24 10:36:44 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
各位好，我们这里有一台FEI nova650的扫描电镜，前一阵冷水机的水泵突然出现了问题，换了一个水泵后冷水机工作正常了，但是电镜HR模式不能聚焦，厂家工程师过来检测了一下，说控制HR聚焦的电路板子被烧掉了。换一块板子很贵（买了电镜1年半），请问各位大侠有碰到过类似问题的吗？我们第一次遇到这种问题，本来以为电镜的寿命很长很长，应该怎么办呢？谢谢！
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fengyonghe
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2013/6/24 21:09:50 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？
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fengyonghe
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2013/6/25 16:42:46 板凳 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
对于不采用扩散泵的扫描电镜来说，冷水机是用来冷却什么部件的？和板子烧了有关系吗？


冷水机除了冷却分子泵，电路板也是靠水冷的。。。工程师老说要我们把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃，就是为了防止静电和短路，水系统是经过电路板子的。。。有空我给你上图。。。


如此说来把环境温度控制到和水冷温度温差±3℃是有道理的，过高的室温会使板子形成冷凝水而短路，过低的室温会使板子过分干燥出现静电。
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