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主题：有没有把SEM改装成电子束暴光的?

浏览0 回复17 电梯直达
六脉神剑
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发表于：2006/08/17 18:44:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子束本来是从SEM发展出的,不知道国内有几家把SEM改装了?
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2006/8/18 8:55:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
版主，请问你们那里有没有把SEM改装成电子束曝光，听说就是加一个图形发生器就行。这样可以给纳米管做上电极，而且可以做很多事情，例如MEMS、NEMS等。
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常怀千岁忧
narcisus
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2006/8/18 9:06:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
中科院光电所在做这个东西吧,好像已经做过不少了
上海的微系统所就用了他们的图形发生器
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2006/8/18 10:23:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
图形发生器是国产的好还是国外进口的好？
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2006/8/18 10:35:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
给张电子束曝光的照片1是得到的碳纳米管阵列
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2006/8/18 10:38:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是利用电子束曝光得到的点阵催化剂经CVD得到的单根碳纳米管阵列的照片。大家也可以做其他的工作！
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六脉神剑
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2006/8/18 10:42:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
再给张电极的照片。
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六脉神剑
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2006/8/18 14:58:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
关于电子束曝光也许很少有人知道，但是如果说起半导体工业和芯片大家都会知道。其实电子束曝光是半导体工业制造常用的掩模板制作方法。有了电子束曝光才可以制作几十纳米线宽的电路及器件。
大家如果想多了解这方面的内容我可以上传一些资料。
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天黑请闭眼
shxie
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2006/8/18 16:19:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 quanbaogang 发表:
关于电子束曝光也许很少有人知道，但是如果说起半导体工业和芯片大家都会知道。其实电子束曝光是半导体工业制造常用的掩模板制作方法。有了电子束曝光才可以制作几十纳米线宽的电路及器件。
大家如果想多了解这方面的内容我可以上传一些资料。

欢迎，想了解一下。
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小石头
julibo
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2006/8/18 16:39:00 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个论坛的部分人只限于SEM的单纯应用了，说到改装就是外行了
欢迎楼主上传！
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六脉神剑
quanbaogang
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2006/8/18 16:48:00 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其实，好多SEM都可以改装。
图形发生器的价钱也不是很贵
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