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主题：【原创】FIB/SEM 能配能谱不？

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fly-fall
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发表于：2009/12/25 23:34:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题...近日见到了FEI新一代的NANOLAB系列SEM/FIB所照的照片，感觉极为震撼...单纯从参数上考虑，电子束时的分辨率比ZEISS ULTRA55 或HITACHI SU70更强。感慨万千啊~
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wildonkey
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2009/12/26 9:36:53 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
当然可以。和sem上的一样，能谱只能配合电子束用，离子束几乎不能激发X光。
你指的是Helios系统吧，那么其最新一代的SEM Magellan会更让你感慨万千
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fly-fall
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2009/12/27 9:22:21 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wildonkey(wildonkey) 发表:
当然可以。和sem上的一样，能谱只能配合电子束用，离子束几乎不能激发X光。
你指的是Helios系统吧，那么其最新一代的SEM Magellan会更让你感慨万千


对的，最近送了几个样品去试一下，感觉很不错。光从参数上看的话，HELIOS，尤其是600系列的SE分辨率可达到0.9nm,这是我见过的最高的了。比ULTRA55和SU70都强！不过没对比过真实图片，SU70做DEMO很麻烦。MAGELLAN会去看一下，不过估计也是天价
该帖子作者被版主 madprodigy加 5积分， 2经验，加分理由：期待您将样品分析的过程与大家分享分享
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golf
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2009/12/27 20:21:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Helios确实是好东西。就是太贵。
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