主题：【原创】扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班

信息产业部电子第五研究所（中国赛宝实验室）将举办《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》。欢迎大家参加

《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》
课程对象
电镜操作人员  电子元器件失效分析工程师  电子工艺工程师  品质工程师
师资介绍：
施明哲, 高级工程师，二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验，在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖；《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。

培训时间：06年9月18日——22日
培训地点：电子五所院内
培训费用：4000元/人.五天
培训证书  中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书
课时安排：
日期    时间    授课内容
9月18日    9：00－12：00    扫描电镜理论学习
    14：00－17:00   
9月19日    8：30－12：00   
    14：00－17:00   
9月20日    8：30－12：00    能谱仪理论学习
    14：00－17:00   
9月21日    8：30－12：00   
    14：00－17:00   
9月22日    8：30－12：00    扫描电镜/能谱仪演示与答疑
    14：00－17:00    扫描电镜/能谱仪实际操作与典型照片讲解
联系方式：
联系人：韩越，李华  电话：020-87236986        传真：020-87237185
网址：www.rac.ceprei.com      EMAIL:  han@ceprei.com
培训报名表
单位名称   
专业领域   
参加课程   
联系人        工作部门/职位        Email   
联系电话        传真        参加人数   
备注   
说明：
1，请详细填写报名表格，发传真或Email给我们。
2，收到您的报名表后，本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。
3，现场以现金或支票方式支付
1)费用包括：培训费、资料费、证书费、午餐费，食宿自理。
2)时间安排 报到：9月18日上午8：00—9：00
4，需要在五所招待所住宿的客户，可以联系：020-87237064，标准双人间：168元/天。


课程内容提纲
    第一部分：扫描电镜
第一章：扫描电镜
1．1 慨论
1．2扫描电镜原理
1．    3扫描电镜结构
1．    5扫描电镜的分辨率
1．    6扫描电镜图像的形成
第二章：高分辨扫描电子显微镜
2．    1 场发射扫描电子显微镜
2．2  SE和BSE之差做为信号的方式
2．3 工作距离         2．4 使用强磁物镜的方式
第三章：扫描电子显微镜的实践
3．1 扫描电子显微镜的操作
3．2 扫描电子显微镜图像的毛病
3．3 扫描电子显微镜的保养
3．4 扫描电子显微镜的安装条件
3．5 扫描电子显微镜的验收与维护
3．6小结
第四章：计算机图像演示
第二部分：能谱分析
第一章、引  言   
第二章、EDS系统的工作原理
1．系统概述
2.吸收和处理过程
3．计数率的考虑
4．谱仪的分辨率
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
1．萤光产额
2．连续辐射的产生
3．莫塞莱定律  X射线定性分析
4．X射线的吸收
5．二次发射（萤光）
第四章、X射线测量
第五章、能量定性分析
1．检出限
2．探测器的效率
3．空间分辨率
3．    谱仪分辨率
4．    伪峰（“artifact”peaks）
5．    定性分析结果的表示方法    第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
1．加速电压
2．电子源
3．孔径光栏选择
4．镜筒的合轴
5．样品/探测器的几何条件
第七章、定 量 分 析
1．脉冲计数统计误差
2．块状试样的定量分析：
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
1．定性分析概述
2．定量分析概述
第九章、能谱失真与杂散幅射
1．谱峰的失真
2．背底的失真
3．杂散辐射
第十章、能谱的验收与维护
第三部分：实际操作