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主题：【已应助】求文獻一篇

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hanc1202
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发表于：2014/10/16 21:43:35 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：1
【作者】：佟洪波柳青巴德纯
【题名】：反应溅射AlN薄膜的动态特性

【期刊】：真空科学与技术学报
【年、卷、期、起止页码】: 2009年01期
【全文链接】http://lib.cnki.net/cjfd/ZKKX200901008.html
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2014/10/16 23:06:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子作者被版主 gpm1976加 1积分， 2经验，加分理由：文献应助
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