原文由 jackymeng(jackymeng) 发表:
有个问题请教各位,我有一组样品,由外至内,镀有Au-Ni-Cu的三层镀层,目前我想测试最外层Au层的纯度:
1、样品我有两种规格的,主要是Au层厚度的区别,一种样品是2um厚度的金层,另外一种样品的Au层只有20nm。
2、Au的纯度相对比较高,应该是99%以上。
3、当前,我能想到的方法,2um及以上的Au层纯度,也许可以用SEM-EDS或者EPMA来测。
但是对于20nm的Au层纯度,我目前还真的没有合适的方法,因为SEM-EDS或者EPMA的高能电子束有一定的作用深度,势必会激发下面的Ni或者Cu的成分出来。
请问各位有什么好的方法?
原文由 仗剑少年游(yue_qiu) 发表:原文由 jackymeng(jackymeng) 发表:
有个问题请教各位,我有一组样品,由外至内,镀有Au-Ni-Cu的三层镀层,目前我想测试最外层Au层的纯度:
1、样品我有两种规格的,主要是Au层厚度的区别,一种样品是2um厚度的金层,另外一种样品的Au层只有20nm。
2、Au的纯度相对比较高,应该是99%以上。
3、当前,我能想到的方法,2um及以上的Au层纯度,也许可以用SEM-EDS或者EPMA来测。
但是对于20nm的Au层纯度,我目前还真的没有合适的方法,因为SEM-EDS或者EPMA的高能电子束有一定的作用深度,势必会激发下面的Ni或者Cu的成分出来。
请问各位有什么好的方法?
横截面SEM-EDS