主题：【原创】质谱仪真空系统

真空系统
无论是成熟的GCMS，还是大有作为的LCMS，亦或者是ICPMS，这些分析仪器的精贵之处毋庸置疑就是质谱仪MS。
质谱仪，最基本的系统就是真空系统，也是最重要的系统之一。真空系统的作用就是提供足够的真空度来满足质谱仪的功能，主要提供足够高的平均自由程，减少背景噪声获得高灵敏度。还可以防止灯丝被氧化（GCMS），避免高压放电（TOF-MS），等。
真空基础：
平均自由程：每次发生碰撞之间移动的平均距离被称为 平均自由程 (l)

真空vacuum 可以简单分为粗真空（1 x 105 - 1.33 x 10-1 Pa）-高真空（1.33 x10-1 - 1.33 x 10-6 Pa）-超高真空（<1.33 x 10-6 Pa）。
真空技术：
真空技术包括真空获得、真空测量技术、泄露和检漏技术。
一、真空获得
真空获得技术：主要通过各种真空泵或者真空泵组来获得所需的真空度。
真空泵的技术指标主要有：抽气量、抽气速度、极限压力、压缩比。
1、    抽气量 Q (mbar L/S or torr L/S)，被真空泵从一点传送到另外一点的气体数量，它取决于压力；
2、    抽气速度 S（L/S）,单位时间内的抽气量；
3、    极限压力 （mba），真空泵所能达到的最低压力；
4、    压缩比 K=Po/Pi，排气口的压力与进气口压力的比值。
1.粗真空获得，可以通过各种机械泵来获得。
如油封式旋片泵（通常我们所说的油泵）；还有涡卷式干泵；隔膜泵；罗茨泵等。主要作用就是从真空室中取出大部分空气，为高真空泵保持适合的排气口压力和提供合适的进气口启动压力。
各种粗抽真空泵性能对比：

2.高真空获得，主要有油扩散泵、涡轮分子泵、冷泵。
油扩散泵：

涡轮分子泵：

各种高真空泵性能对比：

3.超高真空获得，主要通过超高真空泵，如离子泵、钛升华泵。
二、真空测量技术
主要是通过不同的真空规（vacuum gauge）来测量真空度。
三、泄露和检漏技术
检漏技术是用来保证元器件或系统的密闭性可以满足某种标准的一种方法。通常的检漏方法有冒泡法、压降法、卤素吸收法以及氦质谱检漏仪，以下是各种方法的比较。

1 x 10-1 atmcc/sec. = 6.00  cc/分钟. (0.1 *60)
瓦里安Varian 氦质检漏仪