主题:【讨论】液质中常用的真空检漏方法?

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lostking2008
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气质比,找到小的泄漏点还是比较挑战的,特别是在没有氦质谱检漏仪的情况。
大家说说都有什么好办法?
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20071940xu
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叮叮当当
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氦质谱检漏仪是个专业的工具了,其实很多时候检漏还是需要氦气/氢气的,因为现在液质均带有离子规,对着可能漏气的地方吹可以很快看到读数值的变化,从而确定哪里漏气。所以不像气质可以不带离子规,几乎所有的液质都会有离子规之类的高真空测量仪。
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毛毛maomao
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hujiangtao
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lostking2008
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原文由 叮叮当当(wangskyi) 发表:
氦质谱检漏仪是个专业的工具了,其实很多时候检漏还是需要氦气/氢气的,因为现在液质均带有离子规,对着可能漏气的地方吹可以很快看到读数值的变化,从而确定哪里漏气。所以不像气质可以不带离子规,几乎所有的液质都会有离子规之类的高真空测量仪。

感觉还是气质的检漏更直接,毕竟它的质谱本身就可以看成一个residual gas analyzer (RGA)。 但是液质的质谱很少可以直接扫描低于50 m/z的离子。你提到的利用液质的离子规读数变化,是个好办法,唯一的缺点是比氦质谱检漏仪的灵敏度低。
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dooby
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chenyutite
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代理INFICON 检漏仪,UL1000FAB 氦质检漏仪,HLD6000冷媒检漏仪以及手持式卤素检漏仪
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