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主题：【已应助】求文獻1篇

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hanc1202
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发表于：2015/03/11 00:39:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
【序号】：1
【作者】：A. V. Rogov, Yu. V. Kapustin, Yu. V. Martynenko

【题名】：Factors determining the efficiency of magnetron sputtering. Optimization criteria
【期刊】：Technical Physics
【年、卷、期、起止页码】： February 2015, Volume 60, Issue 2, pp 283-291
【全文链接】：http://link.springer.com/article/10.1134/S1063784215020206

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2015/3/11 0:53:44 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Factors determining the efficiency of magnetron sputtering. Optimization criteria
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Factors determining the efficiency of magnetron sputtering. Optimization criteria.pdf
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