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主题：【原创】涡轮泵挂彩了？记一次质谱故障

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luos86
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发表于：2015/05/12 22:29:41 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦5975C，昨天下午仪器在待机情况下涡轮泵和前级泵都停下来了，离子源和四级杆温度也降下来了，由于临近下班时才发现，于是先把仪器关机今天早上上班再检查。起初以为是哪里大漏导致真空达不到，仪器自己放空了。先是检查前级泵泵油，油位在最低位以上，泵油颜色也正常，接口也很紧，应该没什么问题。接着想要打开质谱真空仓检查，发现侧板还吸得挺紧的（感觉不太像是大漏吧），拧松放空阀卸掉真空（放空完顺手拧紧），打开侧板发现真空仓里面有些细小的金属粉末，立马意识到情况不妙，这是哪里来的呢？！先用镜头纸小心将颗粒物清扫出真空仓外吧，OMG！！！我的分子涡轮泵发生什么事了？！先上图吧，那个伤心。。。

请问各位版友，涡轮泵的扇叶是打到哪里了吗？怎么会打成这样？真空仓里面的金属粉应该是扇叶上磨出来的吧？仪器上次维护清洗离子源是去年的12月底，一直正常使用没什么问题，怎么突然就这样了？
现在的情况是这样，我把真空仓清理干净试着重新开机，前级泵运行正常能把侧板吸住，仪器也有自检（嘀一声），但是涡轮泵没有运转，速度一直都是0.1，然后大概5分钟之后，涡轮泵长时间没有启动，仪器自动把前级泵也关闭了。这种情况感觉涡轮泵应该是挂彩了吧，下午联系了安捷伦的工程师也说可能是涡轮泵坏了，
请大家帮忙分析一下故障的原因吧，仪器应该是06-08年买的（具体记不清了），期间也没坏过什么部件。前级泵和涡轮泵都是普法的，上一张涡轮泵外观图

还有联系了安捷伦维修报价，G3170-67000 New-HiPACE 80 Turbo Pump Service Kit  3万3千多（不含税），这个价格怎样，有没有被坑了？
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2015/5/12 22:31:19 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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