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主题：求助：SEM照片为何在样品边角特别亮，除了二次电子产额还有体积效应？

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小石头
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发表于：2006/10/13 10:10:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
a 为入射电子束与试样表面法线之间的夹角，当对光滑试样表面,入射电子束能量大于1KV且固定不变时，二次电子产额反比于a的余弦。
上面的比较好理解。请看下面：由于作用体积的存在，在断口峰，台阶，突出的第二相粒子处的图像特别亮。
如何解释？
请各位不吝指教！谢谢！
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2006/10/13 10:16:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子束与样品作用是梨形区域，但我还是不懂所谓体积效应，请各位指点迷津...
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miumiu
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2006/10/13 15:03:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要是不方便给你画图，我就简单说一下吧，
  当表面是光滑的平面的时候，入射电子束且与表面法线平行时，入射角认为是0度。这时，我们假定入射深度为Lmm.当样品表面倾斜60度，则入射电子束的有效深度增加为2L,入射电子使表面5~10nm的作用体积内逸出表面的二次电子数量增多。
  尖端处放电，也就是二次电子作用体积的增大，是同样的道理。
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2006/10/13 15:57:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢！你的意思是说边角的地方电子束激发的二次电子深度大体积也大？
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miumiu
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2006/10/13 16:24:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是这个意思
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小石头
julibo
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2006/10/13 16:32:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上的兄弟有没有好的资料推荐？比如书籍？谢谢！
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teufelmond
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2006/10/23 13:32:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个就是所说的尖端效应吧?
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