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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】扫描电镜设备参数中有无电子束流稳定度?

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liujunhit

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发表于：2015/11/17 10:55:32 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

扫描电镜设备参数有无电子束流稳定度?
电子束流稳定度是SEM必要参数吗?
是不是对于场发射是必要参数?而对钨灯丝电镜就不是必要的吗?
本人现在负责论证一台SEM,但是了解的不是太深入,还请有经验的给指点指点,谢谢

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2015/11/17 14:55:50 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

没有专家知道吗？

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fengyonghe

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2015/11/17 19:20:56 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

只要是做能谱定量分析，无论哪种型号的SEM都要求束流不稳定度不超过±1%

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2015/11/17 19:21:57 Last edit by fengyonghe

拱廊

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2015/12/8 11:30:14 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
只要是做能谱定量分析，无论哪种型号的SEM都要求束流不稳定度不超过±1%

束流稳定性的单位 n%/h 到底是什么意思呢？是扫描区域的整体偏移吗？

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fengyonghe

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2015/12/8 17:43:42 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

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驰奔

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2016/3/20 17:57:57 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 拱廊(v3052164) 发表:
束流稳定性的单位 n%/h 到底是什么意思呢？是扫描区域的整体偏移吗？

是电子枪发射电流每小时的偏差。按说应该是末级探针电流每小时的偏差，但需要专门装置，对终端用户来说，监测一下电子枪发射电流就可以了。
这个指标对扫描电镜日常形貌观察没啥意义，如束流稳定性，每分钟甚至每秒都能变化1%，就没法用了，冷场电子枪flash前后，可能感觉很深刻。
对于现代扫描电镜配套的SDD探测器能谱仪，做一个点分析也就几秒钟完事了。你要把谱图做的非常漂亮，做的非常精细也就几分钟，正常情况下没啥影响。
但是，如果做扫描电镜SEM波谱WDS，尤其元素面分布，那就有意思了，因为做一个分析，可能需要几个小时。如果束流飘移量超过一定程度，前后结果可能就不同了。