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主题：【求助】蔡司场发射扫描电镜R轴不能旋转是什么原因，有人遇到过吗？

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陌上树
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发表于：2016/02/18 16:04:21 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
蔡司场发射扫描电镜R轴不能旋转是什么原因，有人遇到过吗？
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2016/2/19 8:31:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您好，新手上路版的帖子浏览量较少，转到扫描电镜版了。
下次发帖记得到对应版面，以免耽误您的问题。
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vicky021
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2016/2/19 16:38:53 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
打电话找厂家工程师问问吧
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avih1981
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2016/2/21 7:08:15 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很专业的问题，没有遇到
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cvbs11
cvbs11
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2016/3/7 16:29:59 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要具体看问题的表现了： 是手动旋转不转还是输入数据不旋转？ 首先确认是否R轴马达出现问题？能初始化Stage否？ 楼主说的太简单了，没法直接回答
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wangvwatd
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2016/4/8 9:37:15 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的也坏了
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UNM
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2016/4/10 18:23:28 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
初始化下样品台，看行不行。
一般样品台不能动，一是硬件问题，轴坏了，这个需要购买新的配件；
而是传感器或者软件反应不过来，建议完全断电再重新启动
还有一个是软件设置那里可能把R轴设成disable了
这种问题让供应商电话指导下基本可以解决，如果不是硬件问题的话。
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wangvwatd
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2016/5/25 8:17:43 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的R轴也坏了，不能初始化，应该是硬件坏了，现在把R禁止了，有时候工作会麻烦些，别的都一样。
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