主题:【求助】扫描电镜抽真空很慢的原因是什么?

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xiao乒乓
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我们的场发射扫描电镜,以前交换仓是真空,样品仓抽真空很快,后来忽然抽不起来 ,抽好了做样过程中会掉,就给交换仓进气,这样样品室抽的也算快,用了几周,直接怎么样抽真空都很慢很慢 ,经常上午做样的时候 还电压总掉。高手指教。
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xiao乒乓
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补充:为什么早晨高压容易掉?掉了加,加了做俩张图掉,掉了重启软件再加。折腾几次慢慢稳定了。这都和什么因素有关?
暗夜精灵
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fengyonghe
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1,掉真空高压也会掉  2,当电子枪或高压发生器有轻微打火放电时高压就会关闭。若是后者情况会越来越严重。经验之谈供参考。
wccd
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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
1,掉真空高压也会掉  2,当电子枪或高压发生器有轻微打火放电时高压就会关闭。若是后者情况会越来越严重。经验之谈供参考。


高压打火说明某处绝缘不良,导致高压爬电或放电,最好电路过载保护性断电,此时必须解决绝缘问题和潮湿问题。
1、清理高压发生器的电路板,
2、解决空气潮湿问题,
3、提高真空度。
UNM
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可能不同牌子的电镜会不一样,最好把你的电镜牌子说出来,
越详细对你的问题解决越快。
大卫怀特
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第一:先排除样品问题,不放样品,开下样品交换仓(SEC)与样品仓(SC)中间的阀门MV,然后关掉MV,注意观
察SC的抽真空耗时。
第二:检查马达台、能谱接口、MV处的O型圈,并涂抹真空密封脂。
第三:检查机械泵是否
工作再最佳状态,重点关注泵油是否需要更换,油封及联轴器到保养时间一定要更换
如果严重影响使用建议即刻
联系供应商
jianghe67
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可能使你的样品没有清洗干净,吸附到真空规上,清扫一下真空规,可能就好了。
unht
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m3079069
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1.检查前级泵、分子泵。2 是否有漏气。
清洁一下oring圈
m3079069
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