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主题：【求助】MS高真空不稳定，怎么回事？

浏览0 回复8 电梯直达
四十四
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发表于：2016/05/23 09:08:55 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦5977A,前两天把MS放空后，重新启动现在高真空在1.2-2.0e-05之间跳动一直不稳定，已经抽了超过48小时了，以前一直是稳定在8.5e-06左右的，没遇到过这种情况
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2016/5/23 10:34:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要不试试重启下
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四十四
v2825943
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2016/5/23 10:58:41 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:
要不试试重启下
因为马上要用，重启来不及，我调谐了一下所有参数都正常，就是高真空还是那样
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symmacros
jimzhu
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2016/5/23 12:21:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问是在一个柱温下这样变动吗？
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四十四
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2016/5/23 13:23:09 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问是在一个柱温下这样变动吗？
外接了一个7697A的顶空进样器，在旁边听到了气流声，可能是顶空有问题，我把顶空关了不走顶空进载气真空度就稳定了，
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蓝是那么的天1188
matt_zheng
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2016/5/24 11:56:50 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
柱温，载气流速，这些都稳定吗？还有仪器是否漏气？
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风痕
yiwang520
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2016/5/24 13:43:28 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是气相方法设置有问题，是不是气相方法设置的不分流，或者是分流比例太小？
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千层峰
jxyan
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2016/5/24 20:00:10 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 四十四(v2825943) 发表:
外接了一个7697A的顶空进样器，在旁边听到了气流声，可能是顶空有问题，我把顶空关了不走顶空进载气真空度就稳定了，
那就是顶空那边漏气了。。
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symmacros
jimzhu
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2016/5/24 20:26:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 四十四(v2825943) 发表:
外接了一个7697A的顶空进样器，在旁边听到了气流声，可能是顶空有问题，我把顶空关了不走顶空进载气真空度就稳定了，
检查一下顶空是否有漏气？
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