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主题：请教:SET Bias什么原理?怎么操作?

浏览0 回复4 电梯直达
adu110
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发表于：2006/11/22 10:16:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大侠,请教一下,日电的SEM更换灯丝后,手动调节Gun Alignment时候,LC电流有70左右,我使用了"set bias"调节了"coarse"中的">>",调到上限值在185.
    电流下降到50微安左右,
    各位,请告诉偶"set bias"的原理和作用,还有调到什么范围为适当?多谢了.
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2006/12/8 16:28:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 adu110 发表:
各位大侠,请教一下,日电的SEM更换灯丝后,手动调节Gun Alignment时候,LC电流有70左右,我使用了"set bias"调节了"coarse"中的">>",调到上限值在185.
    电流下降到50微安左右,
    各位,请告诉偶"set bias"的原理和作用,还有调到什么范围为适当?多谢了.

这里的BIAS应该是发射枪或阴极上被施加的偏压，调节这个偏压可以改变电子束流的强度，一般以微安(UA)计算。
这个偏压可以被见解理解为 虚拟发射源的直径，大偏压大束流，虚拟源直径也大。
您会发现不一定大偏压会导致电子束流的实际增长，只会有数值上的增长。
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adu110
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2006/12/27 10:08:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢任xin大侠指点。
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2006/12/27 21:03:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个偏压值和灯丝尖端与栅极帽灯丝孔的位置，所使用的加速电压，以及灯丝所处的温度（亦即灯丝上面所加的电压大小）都有函数关系，现代电镜可以按照上述几个参数及相应的关系进行多档自动调整，使这些条件在改变的时候偏压值也随之改变，以使灯丝发射出来的电子达到一个最佳的单位立体角密度值，具体情况可以通过观察灯丝发射流随着加速电压的改变而变化的曲线波动情况来了解，波动越小，调节得越好，这样在低加速电压下也可以保证有足够的束流密度和图像信噪比。当然，手动来调整要有些经验的，过小的偏压会使灯丝发射出来的电子不能得到有效的利用，造成浪费（因为要达到相应的亮度，就得把灯丝电压升高），过大则部分发射出来的电子会被电场迫回灯丝而无法有效提高发射电流的利用率，只有在最佳的工作条件下才能得到最好的利用，因此建议使用自动偏压，当然如果机器上面只有那么四档偏压供选择的话就只好用手动挨个试来找一个最佳值了，因为这种机器上面没有一个设计合理的函数来进行运算，尤其一些比较老的机器就是如此。
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2006/12/28 9:15:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢楼上蜗牛兄之高见，我这的电镜的偏压值是80～250之间来调整的，分成coarse and fine, 所以通常我只能根据经验来调整:结合EDX时候的能量cps,及相对应的SPOTSIZE值的大小 ,去调整,一般偏压太高会导致显示电流偏小,而EDX时候的能量CPS偏高,这种情况下灯丝寿命大大缩短. 这个目前只能靠经验来掌握.
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