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主题：【求助】安捷伦6890气相，空气流量问题

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发表于：2017/06/27 17:49:30 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
刚开机的时候，空气流量设置到450是没有问题的。过了一个小时以后，空气流量就一直往下掉，是1ml,1ml的掉，直接可以掉到100左右。氮气和氧气是没有问题的。发生器空气的压力是0.8pa,而且特别稳定。测漏也没有问题，找的发生器的工程师说自己的仪器没问题。找的第三方维修仪器的，认为是EPC的问题。打电话问安捷伦工程师，认为是发生器供应气体不稳定照成的。现在我也不知道哪里出问题了。还有空气钢瓶在哪里购买啊？
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荷花仙子
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2017/6/27 21:53:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
空气钢瓶可以租呀
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我是风儿
nphfm2009
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2017/6/28 5:49:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们也是用发生器
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zengzhengce163
zengzhengce163
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2017/6/28 6:12:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气体供应商有
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yzguo
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2017/6/28 6:30:27 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
空气压力0.8pa太小了，一般是0.4MP
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爱吃流水席mz
v3229742
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2017/6/28 7:00:03 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习
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PAEs
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2017/6/28 17:06:21 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
空气用的空气发生器
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蛮子
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2017/7/1 9:13:16 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢楼主，学习了
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lsyecspc
liushuyong
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2017/7/1 17:27:02 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用空气发生器是没问题的，如果压力是0.8Pa就太小了，一般用的量0.3-0.5Mpa，你是不是写错了。看你说的现象EPC不会有问题，如果是EPC的问题开始流量也不会达到要求的。
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安平
byron1111
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2017/7/2 22:47:53 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
  应该是GC的问题，报修为好。
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淡如水
v2825558
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2017/7/3 10:01:32 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氮气不是钢瓶气吗？ 那你也可以把氮气先接在空气的接口，看看稳步稳得起。。
还是很怀疑EPC问题
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