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主题：【求助】学半导体的谁知道一种生长晶体的方法叫 Czochralski法？

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niuzai820
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发表于：2006/12/26 19:26:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学半导体微电子的，可能经常会在国外的文章中看到一种生长晶体的方法叫Czochralski 法，谁能详细说明一下这种方法的过程，特点？以及Czochralski Si（CZ-Si）是指的是什么？？
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2006/12/29 8:45:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
也叫提拉法，Si单晶是用来做籽晶的。
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豫州*阿秋
yaqiu_chen
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2007/1/6 9:25:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
指的是切克劳斯基法，就是我们常说的直拉法。其基本工艺过程是：加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长。CZ法生长出的单晶硅，用在生产低功率的集成电路元件，CZ法容易生产出大尺寸的单晶硅棒（指直径）。Cz-Si指的是直拉单晶硅。
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emmalee07
v3057315
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2016/3/12 16:00:36 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直拉法又称为切克劳斯基法，它是1918年由切克劳斯基（Czochralski）建立起来的一种晶体生长方法，简称CZ法。CZ法的特点是在一个直筒型的热系统汇总，用石墨电阻加热，将装在高纯度石英坩埚中的多晶硅熔化，然后将籽晶插入熔体表面进行熔接，同时转动籽晶，再反转坩埚，籽晶缓慢向上提升，经过引晶、放大、转肩、等径生长、收尾等过程，一支硅单晶就生长出来了。[1]
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