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主题：【求助】请问：制样时怎么能保持薄膜样品断面平整？

浏览0 回复4 电梯直达
ferrate
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发表于：2007/01/03 22:27:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品：基体厚度0.4－0.5mm，在上面丝网印刷一层10－20μm的氧化物层。
想用SEM看一下断面两层的结合情况。但测试时断面不平不好聚焦，拍的照片也很模糊。
请问各位大侠有什么好的办法？
或者有其他原因？
多谢！
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threedaysin
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2007/6/6 10:48:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
包埋后，使用抛光机，Polisher
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dkdfcd
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2007/10/27 15:11:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
调节金相显微镜试试
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moonbearpipi
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2007/10/27 18:06:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 ferrate 发表:
样品：基体厚度0.4－0.5mm，在上面丝网印刷一层10－20μm的氧化物层。
想用SEM看一下断面两层的结合情况。但测试时断面不平不好聚焦，拍的照片也很模糊。
请问各位大侠有什么好的办法？
或者有其他原因？
多谢！

一般情况下，看断面显微结构时，先粗调一下，然后选择一个相对较平的区域作为视场来拍照。（虽然断面不平，那只是宏观上的，在SEM中分析的区域是微观的，还是很容易找到“平面”的）
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chenming_18
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2008/4/5 22:12:11 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最好没气泡，可以抛光
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