主题:【求助】有关扫描电镜的基本问题

浏览0 回复20 电梯直达
l_feier
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hd-lzh
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110sl119
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PT镀厚一些;不就可以了;
看看你记速率,适当的减低一些电压,不就可以了!
instrumentcom
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磨剪子嘞 锵菜刀
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原文由 zxr1231981 发表:
各位大侠,我是新来的,我做的是薄膜,厚度为:50多个纳米,请问,扫描电镜发射的电子束会不会穿透薄膜,打到基片上去啊?从而,显示的是基片自身的信息?请求各位不吝赐教。谢谢了


肯定会啦,买场发射用低电压,或者看透射.
wbslandy
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原文由 zxr1231981 发表:
各位大侠,我是新来的,我做的是薄膜,厚度为:50多个纳米,请问,扫描电镜发射的电子束会不会穿透薄膜,打到基片上去啊?从而,显示的是基片自身的信息?请求各位不吝赐教。谢谢了


   有50多个纳米厚,用场发射SEM在低加速电压(0.5KV,1.0KV,甚至2KV做都不会有问题.请看我做的3纳米厚的碳(类金刚石)膜的SEM照片.漏白的部分是碳膜被磨掉了漏出了底层,黑色的部分是没磨掉的膜(3nm厚),如果象老兄说的要穿透的话,那整个面都是白色的底层.
所以不必担心50纳米会被穿透.
gqxiechina
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huangtao0307
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原文由 zxr1231981 发表:
各位大侠,我是新来的,我做的是薄膜,厚度为:50多个纳米,请问,扫描电镜发射的电子束会不会穿透薄膜,打到基片上去啊?从而,显示的是基片自身的信息?请求各位不吝赐教。谢谢了



這樣看你有二次電子還是有背散電子了﹖背散的深度比二次電子的要深一點.
還和你的電壓有關系
charmzha
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半个网客
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如果是测EDS肯定有问题,不过如果是测贵金属和较重元素的表面SE图像的话,应该没有问题的。
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