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主题：【已应助】安捷伦7900量测P元素含量

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发表于：2021/01/12 09:58:32 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
半导体行业，使用安捷伦7900，带有碰撞反应池（H2和He），想要监控无尘室环境中P的含量，做法是将晶圆放环境中一段时间，然后使用萃取液（HF+H2O2）萃取晶圆表面，收集后量测，目前有使用两种方法：1.热电浆模式下，碰撞反应池通了5ml/min的He，但P31的背景很高，线性基本是平的；2.冷电浆模式下，碰撞池不启用，量测PO，线性可以拉出，但是感度很低。

请教各位大神，是否还有其他的量测方式？或者做法中有哪些点不足？还请指点一二，感谢！
推荐答案：光哥回复于2021/01/13
有SiF=47。这个元素以前我做得也不少。
要么试试提高功率到800/900w同时通He，要么换成8900s，要不然最低点50ppt，单杆很难搞。
  另外冷焰同时通氦气，你先试试，不一定是你想的没有感度了。建议专门针对47PO做一个调谐文件，手动调各个透镜参数，调的时候配个P单标，看P单标和DIW，让47PO和DIW中47达到最高信噪比。测试的时候单独调用这个调谐条件做P
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2021/1/13 14:27:32 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
原文由 fltt(fltt) 发表:
可以试一下HEHe模式测31P
你只是简单知道 有高能He模式，但你不知道楼主的应用领域是 半导体级高纯测试。
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timstoicpms
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2021/1/13 14:47:57 板凳 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
现有 7900s 是无法满足你的需求了。你看看这篇，8800/8900s
附件：
5991-2466EN 高纯Si测P Ti.pdf
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