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主题：【已应助】安捷伦5975B关机一周，清洗离子源后，无法抽真空，涡轮泵转速为3

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ashley
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发表于：2021/04/15 18:10:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
求助！安捷伦5975B关机一周，清洗离子源后，无法抽真空，涡轮泵转速为3！是否是涡轮泵故障还是说漏气了？
推荐答案：通标小菜鸟回复于2021/04/15
涡轮泵的正常运转与否与前级机械泵息息相关，仪器开机启动，前级泵预先抽至一定真空度，然后分子涡轮泵启动。楼主首先确保前级泵是否运转正常，检查泵油液面高度是否足够。卸掉真空，重新检查真空腔是否关闭到位，密封圈按紧确保不漏气，然后重新抽真空看看能否抽上。
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m3128509
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2021/4/16 20:35:18 沙发 管理 分享 倒序浏览 查看全部 回复 私聊
漏气的可能性占80%
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