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主题：【已应助】安捷伦7900，机台疑似被污染

浏览0 回复4 电梯直达
DK666
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发表于：2022/01/19 05:29:28 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
背景：半导体行业，正常持续过程，平时量测抛光片表面metal

现象：在毫无前兆的情况下，量测片子前量测的blank异常升高，起初以为所配置的萃取液污染所致，但更换之前验证ok的萃取液重新量测blank，数值依旧高，然后转到调机界面监控调机液感度，感度正常且RSD正常，切到水中和萃取液中观察各元素的背景值发现，起初各元素数值均正常，但是监控一段时间后，各元素均明显升高，且不再回落，接着有切回到调机液，监控感度数值与之前相差不大，且RSD正常

问题：什么原因会导致此现象？监控画面见附件
推荐答案：光哥回复于2022/01/24
以前遇到类似的情况，但我当时是拆洗了整个进样系统、接口最后是八极杆。清洗完之后，整体的背景有所降低。。。。供参考
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timstoicpms
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2022/1/19 20:16:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
无外乎就是 台积电、XX超芯。还是联系 VPD 售后服务团队吧。
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化学潜行者
Ins_d4ab5126
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2022/1/20 13:41:20 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各元素均明显升高，升高多少？是不是锥积盐过多或锥孔过大？
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NA
wangfeidown
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2022/1/21 15:01:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
對面的朋友你好，建議你檢查下機台所用的碰撞氣
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光哥
xsh1234567
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2022/1/24 10:54:50 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前遇到类似的情况，但我当时是拆洗了整个进样系统、接口最后是八极杆。清洗完之后，整体的背景有所降低。。。。供参考
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