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主题：【求助】离子减薄截面样品制备方法

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发表于：2022/03/26 19:25:51 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想请教一下各位做离子减薄的样品，有什么样的方法才能将样品研磨到30um左右，自己的样品基本上磨到100um就散架了
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2022/3/28 7:03:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
（1）块状样切成约0.3mm厚的均匀薄片；

（2）均匀薄片用石蜡粘贴于超声波切割机样品座上的载玻片上；

（3）用超声波切割机冲成Ф3mm 的圆片；

（4）用金刚砂纸机械研磨到约100μm厚；

（5）用磨坑仪在圆片中央部位磨成一个凹坑，凹坑深度约50~70μm，凹坑目的主要是为了减少后序离子减薄过程时间，以提高最终减薄效率；

（6）将洁净的、已凹坑的Ф3mm 圆片小心放入离子减薄仪中，根据试样材料的特性，选择合适的离子减薄参数进行减薄；通常，一般陶瓷样品离子减薄时间需2~3天；整个过程约5天。
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