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主题：【分享】影响等离子体温度的因素

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JOE HUI
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发表于：2022/05/03 09:14:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1 影响等离子体温度的因素

①载气流量：流量增大，中心部位温度下降；

②载气的压力：激发温度随载气压力的降低而增加；

③频率和输入功率：激发温度随功率增大而增高，近似线性关系，在其他条件相同时，增加频率，放电温度降低；

④第三元素的影响：引入低电离电位的释放剂的等离子体，电子温度将增加。

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2022/5/30 22:09:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
话说这个载气压力和载气流速有什么区别？我用过三家的仪器没见过哪里可以调载气压力
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2022/5/30 22:52:57 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wker07(v2659796) 发表:话说这个载气压力和载气流速有什么区别？我用过三家的仪器没见过哪里可以调载气压力
有气动式，也有MFC流量控制器的
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wker07
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2022/5/31 9:32:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:有气动式，也有MFC流量控制器的
这个可调节的都是流速，没有压力的调节
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