主题:【分享】影响等离子体温度的因素

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JOE HUI
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1 影响等离子体温度的因素

①载气流量:流量增大,中心部位温度下降;

②载气的压力:激发温度随载气压力的降低而增加;

③频率和输入功率:激发温度随功率增大而增高,近似线性关系,在其他条件相同时,增加频率,放电温度降低;

④第三元素的影响:引入低电离电位的释放剂的等离子体,电子温度将增加。

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wker07
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话说这个载气压力和载气流速有什么区别?我用过三家的仪器没见过哪里可以调载气压力
JOE HUI
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原文由 wker07(v2659796) 发表:话说这个载气压力和载气流速有什么区别?我用过三家的仪器没见过哪里可以调载气压力
有气动式,也有MFC流量控制器的
wker07
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原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:有气动式,也有MFC流量控制器的
这个可调节的都是流速,没有压力的调节
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