主题:【分享】直播 | 半导体光刻技术主题网络研讨会,微电子所陈宝钦 领衔开讲!

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半导体光刻技术、表征及应用

半导体光刻技术、表征及应用,6月16日开播!

1、陈宝钦(中国科学院微电子研究所 研究员):先进光刻技术与电子束光刻技术
2、蔡麒(沃特世科技(上海)有限公司 大中华区材料科学市场部高级经理):色谱质谱在光刻材料品控、杂质分析、溯源中的应用
3、陈兰(工业和信息化部电子第五研究所 工程师):材料微区分析技术及在半导体领域的应用
4、牛平月(电子工业出版社有限公司 集成电路事业部主任/副编审):知识服务赋能集成电路产业发展


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