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原文由 12002234 发表:
公司用的是JEOL的扫描电镜，因为是菜鸟，常常为得到清楚平滑的像而痛苦不已，有两个问题,望高手指点。
1.关于放大倍数，工作距离，调焦的相互关系
首先是以上三个参数的准确定义；
放大倍数屏幕有显示，可以直接调的，但究竟改变了什么使放大倍数变化了？是焦距f吗？
我觉得是
工作距离究竟指什么？为什么调节Z轴，屏幕上的工作距离不变（屏幕上的工作距离好像是人为设定的）
就是指你的平台离电子枪的距离
调焦（Focus）究竟改变了什么？是物距，相距还是焦距？
感觉就是让你的样品和电镜之间的距离正好在焦距上
2.怎么才能快速得到平滑的像
看到别人的SEM的像都很清晰平滑，但我好像很难调好，我就知道加大SpotSize可以使图象平滑，有其他方法吗？
spotsize加大能使图像平滑，但是分辨率变低，sem的图像和机器的性能也有关系。
还有就是有的样品的像有的区域非常的亮，很难调清晰。
别人说是样品不平，但据我所知，SEM的景深应该很大的；样品某些区域很亮，物理实质是什么？是电子聚集吗？是不是镀Pt就可以了？
如果你的样品不导电的话，为了得到比较好的效果，最好镀金。
谢谢！！！
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