实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8110312今日发帖：15 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：[求助]使用SEM看薄膜断面？

浏览0 回复19 电梯直达
feiliao
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2006/05/27 17:59:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被shxie设置为精华；
在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

请问喷金（应该不能喷碳）以后能看到清楚的界面吗？我看别人论文里面的图都非常清楚，不知何故？

希望得到各位前辈的请教！
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 扫描电镜（SEM） 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
相关阅读
cxlruzhou
cxlruzhou
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/29 23:11:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得最好还是采用样品本身新鲜的断面，尽量不要喷金，否则会掩盖了

断面原有的结构信息。曾做过好多次看断面的薄膜样品，因导电性一般，我就

采用好的导电胶（如Ag导电胶等）把断面照出来的。

我以前做的经喷金处理后的样品-SEM断面 照片一个也用不上，图像不好，本来

看断面需要的放大倍数很大。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
cxlruzhou
cxlruzhou
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/29 23:14:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你样品也够薄的，建议看TEM 吧

SEM 够吃力了吧，呵呵

请高手指点
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
feiliao
feiliao
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/30 10:33:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
"我就采用好的导电胶（如Ag导电胶等）把断面照出来的"

请问用导电胶具体怎么操作？

还有一个问题，如果不喷金的话，电子一打表面就产生一个小包，根本得不到清楚的截面照片。可以看给出的电镜图
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Last edit by lylsg555
cxlruzhou
cxlruzhou
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/30 13:25:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 feiliao 发表:
"我就采用好的导电胶（如Ag导电胶等）把断面照出来的"

请问用导电胶具体怎么操作？

还有一个问题，如果不喷金的话，电子一打表面就产生一个小包，根本得不到清楚的截面照片。可以看给出的电镜图。



用好的导电胶（如Ag导电胶等）就是为了增加导电性，我采取多数部分全包裹

的办法，只漏出一小部分，并且在靠近Ag导电胶的地方拍照。另外，照SEM断面

的时候应该快点，我就是只取做调整的部分照片，若全扫整个屏幕照片的话，

电荷积累影响成像容易不清楚了。关键就是快速，找到好的地方赶紧抓拍，呵

呵，看你的操作了，好运！有时候一幅好的SEM照片需要照好几个样品，发表的

paper中，大多都是选取的最好看的图片吧。。。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
Last edit by lylsg555
cxlruzhou
cxlruzhou
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/30 13:31:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
“还有一个问题，如果不喷金的话，电子一打表面就产生一个小包，根本得不到清楚的截面照片。可以看给出的电镜图。”

------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

没看到你sem照片,那个小包就是放电造成的吧

还是因为你制备的薄膜导电性不好吧

赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
sunnysky
sunnysky
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/31 12:58:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用冷场发射电镜,选背散射像,即使不喷金的话也会得到比较好的效果.
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
cool_blood520
cool_blood520
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/5/31 13:05:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我来说几点,你试一试看是否行得通.(我做过单晶硅上镀膜的实验)
1.样品制备:樣品不要用象你說的那樣用玻璃刀切開.因為單晶硅是有一定的紋理取向,你只需用一個尖銳的東西(如鑷孖)在硅表面邊緣處用力,就可以使硅自動裂開,這樣就可以得到比較平整,新鮮的截面.
2.將樣品用導電雙面膠固定好,然後在側面(在硅基底一側)小心地塗上導電膠(碳或銀)
3.然後將樣品,噴金處理,注意噴金時電流不宜過大(電流太大容易形成金島)
4.掃描電鏡最好選用15KV左右的加速電壓,小的束流.
按以上的方法,看到50K的倍率是沒有太大問題的.SEI可以做到
祝你好運,Try it,don't forget tell me the result!
赞贴
1
收藏
0
拍砖
0
举报
ywh7738
ywh7738
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/6/1 18:56:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
coolblood 说的有些道理
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
ustbedu
ustbedu
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/6/2 21:47:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cool_blood520 发表:
我来说几点,你试一试看是否行得通.(我做过单晶硅上镀膜的实验)
1.样品制备:樣品不要用象你說的那樣用玻璃刀切開.因為單晶硅是有一定的紋理取向,你只需用一個尖銳的東西(如鑷孖)在硅表面邊緣處用力,就可以使硅自動裂開,這樣就可以得到比較平整,新鮮的截面.
2.將樣品用導電雙面膠固定好,然後在側面(在硅基底一側)小心地塗上導電膠(碳或銀)
3.然後將樣品,噴金處理,注意噴金時電流不宜過大(電流太大容易形成金島)
4.掃描電鏡最好選用15KV左右的加速電壓,小的束流.
按以上的方法,看到50K的倍率是沒有太大問題的.SEI可以做到
祝你好運,Try it,don't forget tell me the result!


这样可以做cross-section？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
feiliao
feiliao
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2006/6/6 16:01:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的断面图已经得到了。

将硅片掰断以后，找一个比较好的端口，喷金后进行观察。
当然要找到薄膜与硅片的结合面比较困难，薄膜太薄了（只有40nm），经过几个试样的观察，找到一个比较好的位置基本能确定为薄膜后，在原位再扫一个背散射电子图像（成分模式），将其与二次电子图像进行比较，根据两图像的差异基本就可确定薄膜及其厚度。

我大概前后做了将近5个小时，直到最后才找到准确的薄膜，开始的判断几乎全是错的。

谢谢大家的帮助。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： [求助]使用SEM看薄膜断面？
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁