问题描述:半导体
ICP-MS分析实验室如何准备?需要哪些配置、注意事项有哪些?
解答:
1、超净间通常半导体ICP-MS分析需要的无尘室面积需要在60平米以上,包括更衣间、风淋室、前处理房间、ICP-MS房间,算上外围的空调机房、钢瓶间等,房间面积至少需要100平米,具体规划需要根据实际情况来确定。1000级超净间
100级超净台
2、超纯水机用于制备符合要求的超纯水。纯水机
3、高纯试剂及多元素混合标准溶液,单元素标准溶液高纯试剂,包括硝酸,盐酸,氢氟酸等,用于溶液配制,清洗等。多元素混合标准溶液和单元素标准溶液用于标准溶液配制。
高纯试剂
标准溶液
4、PFA取样瓶及洗瓶根据使用要求,选择配置PFA样品瓶及PFA气体洗瓶,规格可选100ml、 250ml、500mL、1000mL等。
PFA取样瓶及洗瓶
5、移液枪及移液枪头根据需要,配置多种规格移液枪,如10-100μl, 100-1000μl, 500-5000μl,移液枪头建议与移液枪量程配套。
移液枪及移液枪头
6、天平建议配置量程220g精度0.1mg以及3kg精度0.01g的天平各1台。
天平
7、超净间用其他相关物品无尘室应用到的相关配件包括防静电服,无尘防酸碱手套,口罩,帽子,防静电靴,护目镜,防毒面罩,无尘纸,无尘布,超声波清洗仪等
个人防护
无尘服,口罩,手套等
超声波清洗仪
8、电热板用于加热使用,用于硅基样品处理。电热板
以上内容来自仪器信息网《
ICP-MS实战宝典》