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主题：【已应助】GC显示前检测器气体流量未就绪

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Ins_78d689e7
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发表于：2022/11/16 20:06:05 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
gc前段时间氮气用完了，换完气之后重新开机显示未就绪载气节省模式激活，点运行后显示前检测器气体流量未就绪，氢气流量为负值，达不到设定的流量。
推荐答案：安平回复于2022/11/17
氢气流量显示为负值是不对的


设法进行流量校准。

如果不能奏效，建议报修，可能存在硬件故障。
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2022/11/17 11:31:25 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看不明白问题。仪器节能了怎么能点运行呢？
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PAEs
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2022/11/17 11:45:50 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主把载气节省模式关闭，再试试看
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安平
byron1111
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2022/11/17 14:06:10 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氢气流量显示为负值是不对的


设法进行流量校准。

如果不能奏效，建议报修，可能存在硬件故障。
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xiaoheihei
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2022/11/18 1:09:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氢气负值估计气源有问题或者EPC模块有故障。载气节省功能可以取消的，或者启动分析式按预运行恢复到运行状态。
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dadgoh
dadgoh
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2022/11/18 8:33:19 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问问其他操作人员怎样进入的节气模式，确保各气源正常的时候关掉节气模式再试试。
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zyl3367898
zyl3367898
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2022/11/18 22:26:26 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查氢气发生器，电解水、硅胶等。
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yifan1117
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2022/11/21 21:39:26 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
取消载气节省看看。
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