主题:【讨论】安捷伦5977B真空故障问题

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ioriof97
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端午领导忽然让实验员(新手)把气质关了,节后实验自己开起来了,然后下午过来找我说,气质真空度起不来。我过去看了一下,第一次开机的故障提示也就直接是:真空度故障,涡轮分子泵关闭。初步检查前级机械泵问题不大,能抽下一定的真空度,但是由于没有真空规管,不知道具体多少,反正就是最严重的时候分子泵根本不启动。设备停了一天后,再开,分子泵能提到转速30%,但最终还是启动失败。没想到报修后等了一个星期,今天工程师上门就自己正常开机了。
我总觉得我们这台气质的质量实在是一言难尽。大家有没有遇到 相同的情况?现在只能解释新手关机程序错了,导致分子泵受到一定损伤,过了十来天自我修复 了。。。。。
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安平
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有可能前级机械泵抽取的真空程度不足或许系统有一定程度的泄漏。

既然可以达到一定的真空。

其实可以考虑再重启继续抽。
Insm_0fce6e0a
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ioriof97
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原文由 安平(byron1111) 发表:
有可能前级机械泵抽取的真空程度不足或许系统有一定程度的泄漏。

既然可以达到一定的真空。

其实可以考虑再重启继续抽。
前机机械泵一直有小问题。重启没有用,停两天可以开半天。
没办法找出引发的原因了。。
ioriof97
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原文由 Insm_0fce6e0a(Insm_0fce6e0a) 发表:
试试关机一晚上,屋内温度太高?
我自己也认为 有可能是长期的高温引发的,南方城市,6月份气质房几乎没怎么开过空调。但是在老板面前不能提,没有证据
绿树之林
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那个泵安捷伦自己也知道问题大,所以我们购置的时候推荐我们直接换成无油真空泵,返修率低。
原天
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可能是前级泵抽力不足,真空度不能支持涡轮泵高度运行。
ioriof97
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只能坚持几个小时,自动关闭后连通信也关闭了,放一天这个分子泵转速都不到0.之前是会自动降到0的
ioriof97
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原文由 原天(jianquan69) 发表:
可能是前级泵抽力不足,真空度不能支持涡轮泵高度运行。
换了一个同型号的,旧的前级泵,没效果
ioriof97
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原文由 绿树之林(Ins_cb7f1147) 发表:
那个泵安捷伦自己也知道问题大,所以我们购置的时候推荐我们直接换成无油真空泵,返修率低。
m3336169
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这么离谱,大热天气质不开空调?这不直接热炸了?
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