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主题：【讨论】安捷伦5977B真空故障问题

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ioriof97
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发表于：2023/07/04 14:26:07 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
端午领导忽然让实验员（新手）把气质关了，节后实验自己开起来了，然后下午过来找我说，气质真空度起不来。我过去看了一下，第一次开机的故障提示也就直接是：真空度故障，涡轮分子泵关闭。初步检查前级机械泵问题不大，能抽下一定的真空度，但是由于没有真空规管，不知道具体多少，反正就是最严重的时候分子泵根本不启动。设备停了一天后，再开，分子泵能提到转速30%，但最终还是启动失败。没想到报修后等了一个星期，今天工程师上门就自己正常开机了。
我总觉得我们这台气质的质量实在是一言难尽。大家有没有遇到 相同的情况？现在只能解释新手关机程序错了，导致分子泵受到一定损伤，过了十来天自我修复 了。。。。。
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安平
byron1111
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2023/7/4 17:56:14 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能前级机械泵抽取的真空程度不足或许系统有一定程度的泄漏。

既然可以达到一定的真空。

其实可以考虑再重启继续抽。
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Insm_0fce6e0a
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2023/7/7 8:25:06 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
试试关机一晚上，屋内温度太高？
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2023/7/7 15:18:53 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:
有可能前级机械泵抽取的真空程度不足或许系统有一定程度的泄漏。

既然可以达到一定的真空。

其实可以考虑再重启继续抽。
前机机械泵一直有小问题。重启没有用，停两天可以开半天。
没办法找出引发的原因了。。
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ioriof97
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2023/7/7 15:20:40 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_0fce6e0a(Insm_0fce6e0a) 发表:
试试关机一晚上，屋内温度太高？
我自己也认为 有可能是长期的高温引发的，南方城市，6月份气质房几乎没怎么开过空调。但是在老板面前不能提，没有证据
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绿树之林
Ins_cb7f1147
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2023/7/10 11:48:32 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那个泵安捷伦自己也知道问题大，所以我们购置的时候推荐我们直接换成无油真空泵，返修率低。
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原天
jianquan69
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2023/7/11 8:29:39 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是前级泵抽力不足，真空度不能支持涡轮泵高度运行。
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ioriof97
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2023/7/24 17:00:24 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
只能坚持几个小时，自动关闭后连通信也关闭了，放一天这个分子泵转速都不到0.之前是会自动降到0的
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ioriof97
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2023/7/24 18:04:17 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 原天(jianquan69) 发表:
可能是前级泵抽力不足，真空度不能支持涡轮泵高度运行。
换了一个同型号的，旧的前级泵，没效果
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ioriof97
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2023/7/24 18:05:46 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 绿树之林(Ins_cb7f1147) 发表:
那个泵安捷伦自己也知道问题大，所以我们购置的时候推荐我们直接换成无油真空泵，返修率低。
唉
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m3336169
m3336169
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2023/7/25 9:51:36 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这么离谱，大热天气质不开空调？这不直接热炸了？
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