本公司依托计量院重点实验室,联合行业顶尖博士团队,承接SEM、FIB-SEM、AFM、工业CT、FTIR等相关测试服务并提供失效分析等行业解决方案, 应用于半导体、光电子器件、纳米科技、新能源汽车、教育及科研等多个领域 仪器介绍:1.扫描电子显微镜(SEM)型号: Zeiss Sigma 300技术参数:1nm @ 15kV;1.5nm @ 1kV适用范围:纳米级形貌观察和分析、微区成分分析备注:可出CMA或CNAS报告 2. 聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)型号: Thermo Scientific Helios 5 CX技术参数:0.8nm @ 15kV;0.9nm @ 1kV适用范围:超高分辨率形貌表征、原位失效分析、透射电镜(TEM)样品制备、纳米尺度原型设计、微区成分分析 3.扫描探针显微镜(AFM)型号: Bruker Innova技术参数:垂直分辨率:0.01nm适用范围:纳米级形貌表征及材料厚度测试备注:材料厚度测试可出CMA或CNAS报告 4.三维光学轮廓仪型号: Bruker Contour GT-X技术参数:Z向扫描范围:0.1nm~10mm;垂直分辨率:0.01nm适用范围:材料粗糙度、表面形貌分析及高分辨率成像 5.表面轮廓仪(台阶仪)型号: Bruker Dektak XT技术参数:垂直分辨率:1?适用范围:金属蚀刻均匀性、薄膜厚度 6.工业CT型号: YXLON FF35 CT技术参数:细节分辨率:6μm适用范围:孔隙缺陷分析、三维结构成像、尺寸测量、工件检测备注:工件检测可出CMA或CNAS报告 7.同步热分析型号: Netzsch STA449F5技术参数:测试温度范围:室温~1600℃适用范围:热重分析和吸放热分析 8.激光导热仪型号: Netzsch LFA467技术参数:测试温度范围:-100°C ~500°C;样品厚度:0.01~6 mm;样品直径:6~25.4 mm适用范围:材料导热系数和热扩散系数 9.傅里叶变换红外光谱显微测试系统型号: Thermo Scientific NicoletiS50技术参数:光谱测试范围:12000~100cm-1;反射测试角度调节范围:30~80°可调
配备显微模式,可测试反射、投射、TR模式的显微红外适用范围:分子链结构鉴定、官能团分析、化合物定性分析、晶圆碳氧等含量及外延层膜厚分析 10.激光共聚焦显微镜型号: Zeiss Microscope LSM 900技术参数:最大探测深度15mm;扫描变焦倍率:0.5~40适用范围:用于金相分析、断裂失效坑洞裂痕分析、膜厚分析、粗糙度测量等
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