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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【原创】INCA软件介绍——由工程师提供

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siyatou
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发表于：2007/05/03 20:20:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
INCA软件由数个导航条组成，他们的功能有所不同。
    Analyzer－对电镜扫描的区域作能谱分析，SEM扫描的区域即是能谱采集的区域
    Point&ID－先采集SEM的SE或BSE图像，根据要求对图象上的点或区域进行能谱采集，得到的成分信息是所选定区域。
    Mapping－对图像进行元素面分布或线扫描，得到各元素在空间上的分布，或在一条直线上的变化趋势。
    Feature－基于SEM的图象(一般使用BSE)，对图象中颗粒的形态、成分进行自动分析，归类，搜索等。

所谓完整版的INCA，包含了WDS,EBSD的软件，但这需要其他硬件的支持。

通常Feature软件是在和SEM联机的EDS系统上同时使用的。它可以对多区域（大区域）、多个样品的颗粒进行形态和成分分析归类。
当然也可以使用已经完成的Mapping做分析，但是会有很多限制：
－要求Mapping采集的数据量比较大（有采集技术率和时间决定），才能得到具有统计
意义的能谱成分结果
－只能对当前Mapping区域内进行分析，数据的数量非常有限；而在联机情况下，可以
通过INCA对样品台的驱动（需要相关SEM硬件支持），实现大面积多样品自动的分析。
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