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主题：【原创】【我们不一YOUNG】MS真空系统由哪些部分组成？GCMS正常工作时的真空度是多少？

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发表于：2024/07/05 10:09:42 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

MS真空系统由哪些部分组成？GCMS正常工作时的真空度是多少？



MS真空系统由哪些部分组成：MS真空系统主要由机械泵，高真空泵，真空管道，真空阀门，真空规，吸附肼以及控制部件组成。机械泵（提供初级真空，有油泵或干泵之分）主要把系统真空压力降到0.1-0.01托，它是高真空系统的前级泵。高真空泵把系统真空压力降到10-5 – 10-6托。一般为分子涡轮泵，也有少数使用油扩散泵。

GCMS正常工作时的真空度一般为10的-5或者-6次方torr。
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