原文由 daqiang 发表:
我想大家用的sem的最高放大倍数一般都可以达到30万倍。对这么高的放大倍数我感觉很疑惑,我们都知道人眼的分辨率是0.2mm,光学显微镜的分辨率是0.2微米,那么光学显微镜的有效放大倍数就是0.2mm/0.2微米=1000。
假设你所操作的sem的最佳分辨率为5nm,那么该sem的最高有效放大倍数应该是0.2mm/5nm=40000倍,为什么我们所使用的sem的性能指标上都表明可以放大几十万倍呢?
根据SEM放大的原理,确实也可以放大到几十万倍。是不是没有什么意义?
只是一点疑惑。
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
看似一个老生常谈的问题,可认识上还是不统一。张大同的书第一页上是这样论述的:2. 有效放大倍率
利用显微系统把细节放大,以满足人眼分辨率可接受的程度,该放大率称为有效放大率Mc
Mc=Δrc/Δr0
式中, Δrc为人眼分辨率;Δr0为仪器分辨率。
上式建立了仪部放大倍率与分辨率的直接关系。当分辨l 00nm 细节时,需用2000倍,这是光学显微镜的有效放大率;当分辨5 nm 细节时,需用40000倍,这是电子显微镜的有效放大率。可见仪器的分辨率越高,必须利用较高的放大倍率观察细节。
第24页有关于虚假放大倍率的论述。