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主题：自动聚焦时发现样品动了

浏览0 回复8 电梯直达
doxw0323
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发表于：2005/09/29 15:05:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先我把样品调好了位置，在几百倍的时候自动聚焦，结果变模糊了，而且有时发现样品动了个位置，这是怎么会事？
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2005/9/29 15:35:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
赫赫
从来没有用过自动聚焦，感觉不是很好
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doxw0323
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2005/9/29 15:40:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
低倍率自动，还是好的，我只是有时会遇到这种情况，不知道是什么原因造成的
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shxie
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2005/9/30 1:25:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 doxw0323 发表:
低倍率自动，还是好的，我只是有时会遇到这种情况，不知道是什么原因造成的

一般低倍率自动的确没问题，你说的情况可能跟聚焦过程中设定区域有物体晃动，或者高低差异太大导致的吧？
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renxin
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2005/9/30 23:04:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 doxw0323 发表:
先我把样品调好了位置，在几百倍的时候自动聚焦，结果变模糊了，而且有时发现样品动了个位置，这是怎么会事？

不要  忘记，  样本不会动， 但 电子束可会动啊
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r51755
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2005/10/11 10:26:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
的确是电子束会移动。根据经验，SEM自动聚焦功能是根据系统自认的工作距离(WD)计算出电子束焦点的位置，如果样品本身高度不一致时也会在自动聚焦时图像会变得模糊。
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jeolsvc
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2005/10/11 10:47:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
JSM6380系列的是在4500倍以上的时候才会改变电子束,4500以下是移动样品台.如果你的样品是粘在样品台上的,看看是否粘牢?或者是OL是否调好?
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doxw0323
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2005/10/11 12:37:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 r51755 发表:
根据经验，SEM自动聚焦功能是根据系统自认的工作距离(WD)计算出电子束焦点的位置，如果样品本身高度不一致时也会在自动聚焦时图像会变得模糊。

是的，我也觉得，自动聚焦焦距是仪器自动计算的，我有过这样的经历，自动聚焦后，有一定的高度是很清晰的，但不一定是正中间的部分。
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renxin
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2005/10/17 20:05:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 r51755 发表:
的确是电子束会移动。根据经验，SEM自动聚焦功能是根据系统自认的工作距离(WD)计算出电子束焦点的位置，如果样品本身高度不一致时也会在自动聚焦时图像会变得模糊。

您的经验之谈不对， 所有电镜的 自动聚焦功能都是    基于      高对比度实现的， 黑白  差别越好， 自动聚焦越  容易成功。
当然， 平整样本，焦距一定， 聚焦自然好。
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